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（原标题：中微公司成都研发及生产基地暨西南总部项目开工）
10月17日，中微公司(688012)在成都高新区举行开工仪式，宣布其成都研发及生产基地暨西南总部项目正式启动建设。该基地的落地，将为中微公司进一步提升核心研发实力与规模化生产能力提供有力保障，助力其持续巩固在全球高端半导体设备领域的领先优势。
开工仪式上，中微公司董事长兼总经理尹志尧表示，数码产业是现代工业和国民经济发展的核心引擎，而微观加工设备和关键材料及零部件是整个数码产业的基石。中微公司成立21年以来，始终专注高端微观加工设备的研发与制造。成都研发及生产基地专注薄膜沉积设备等半导体高端制造设备，是公司实现发展蓝图的重要战略落子，将为持续推进技术突破、赋能产业升级提供关键支撑。公司将不断加快新设备的研发速度，在今后的五到十年，通过有机生长和外延扩展，逐步覆盖集成电路关键领域50%至60%设备，力争尽早成为高端设备平台化公司，在规模上和竞争力上成为国际一流的半导体设备公司。
资料显示，中微公司成都研发及生产基地暨西南总部项目一期占地约50亩，建筑面积约7万平方米，将发展成为集研发、制造于一体的综合性基地，计划于2027年建成投产，持续提升公司在薄膜沉积设备等高端半导体设备领域的研发制造能力。作为中微公司关键战略布局，随着成都研发及生产基地建设的启动，公司未来厂房总面积将达到75万平方米，为持续增强产品研发与制造能力提供保障。
中微公司集团副总裁、中微半导体设备（四川）有限公司总经理陶珩在致辞中深入阐述了成都研发及生产基地的战略定位与产业责任。他指出，成都项目肩负技术攻坚、产业补齐、集群引领三大核心使命。我们将聚焦薄膜沉积设备等领域，全力研发化学气相沉积、原子层沉积等关键设备技术，补齐西南地区在晶圆加工先进设备制造领域的短板，并积极推动上下游合作伙伴共同发展，助力打造半导体高端装备产业链集群，为西南地区半导体产业链升级提供坚实支撑。
据了解，9月以来，中微公司动作不断。9月19日，中微公司宣布其旗下的华南总部研发及生产基地项目正式开工启动。按规划，中微公司华南总部研发及生产基地总体规划占地约130亩，此次开工建设的一期项目占地约50亩，预计2026年年底建成，2027年计划投产。基地建成后将聚焦大平板显示设备领域的研发与生产，并将逐步拓展至智能玻璃、板级封装等其他新兴平板微观加工技术领域。
9月29日下午，智微资本首期基金庆立仪式暨产业生态合作共建交流会在上海临港举行，首期基金（智微攀峰基金）的规模为15亿元。智微资本是中微公司战略发起并参与出资设立的专业投资平台，聚焦半导体、泛半导体和战略新兴领域，通过联动产业及金融资源，构建覆盖产业链上下游的生态投资体系，致力于推动科技创新，助力产业实现跨越式发展。
中微公司自2004年成立以来，一直致力于开发和提供等离子体刻蚀、化学薄膜、量检测等微观加工所需的高端关键设备。公司在过去14年保持营业收入年均增长大于35%。在2024年比2023年销售增长44.7%的基础上，2025年上半年营业收入继续保持高速增长，同比增长43.9%，达到49.61亿元。公司持续加大研发力度，2025年上半年研发投入达到14.92亿元，同比增长约53.70%，研发投入占公司营业收入比例约为30.07%，远高于科创板上市公司的平均研发投入水平。
公司目前在研项目涵盖六大类设备、二十多款新产品的开发；在化学薄膜设备领域，公司正不断加大研发投入和产品布局，已成功实现六种薄膜沉积设备的高效研发与批量交付，在关键性能上已达到世界先进水平。
